發(fā)布時間:2013-04-12 13:46:06點擊數(shù):1945次
一種制作濾光片的方法,可增加一半導體晶片上的一濾光片附著力并避免光線的跨越干擾現(xiàn)象;該方法是先于該半導體晶片上形成一介電層以覆蓋設于該半導體晶片上的MOS晶體管感測器;然后于該介電層上形成復數(shù)個金屬層約略設置于各MOS晶體管感測器兩側上方;接著形成一保護層,并于該保護層上形成一第一濾光片,其兩側與下方的兩該金屬層約略對齊;之后依序于該保護層上形成一第二濾光片以及一第三濾光片且分別部分相疊于該第一濾光片的一側;其中各濾光片相疊的部分可以提高各該濾光片的附著力,同時形成一光線阻障層,以避免光線的跨越干擾紅外濾光片的作用就是透紅外光截止可見光。這樣即使在光線不好或沒有的情況下,相機仍然可以拍攝不過是黑白效果了。
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