發(fā)布時(shí)間:2013-11-04 08:20:40點(diǎn)擊數(shù):2755次
硅紅外濾光片旨在降低直拉硅單晶氧含量,提高硅紅外濾光片透過(guò)率的硅片熱處理工藝。其特征是將硅片在400-1000℃溫度間的四段溫區(qū)逐步升溫并保溫適當(dāng)時(shí)間并在硅片冷卻至850℃以下時(shí)取出,處理后的直拉硅單晶片在9um處的透過(guò)率接近或達(dá)到區(qū)熔硅單晶的水平,用熱處理后的廉價(jià)直拉硅單晶片制造的紅外濾光片,可滿(mǎn)足紅外儀器設(shè)備所需紅外濾光片的要求,大大降低了濾光片的成本。
硅紅外濾光片的熱處理工藝,包括硅片的切、磨、拋光和腐蝕清洗及熱處理用石英爐管的HCl處理,它的特征在于:1.在爐溫低于400℃時(shí),裝入硅片,2.將爐溫升至400-550℃,保溫10-30小時(shí);然后升溫至700-800℃,保溫10-30小時(shí),再升溫至800-900℃,保溫2-5小時(shí),最后升溫至900-1000℃,保溫2-5小時(shí),3.在爐溫降至850℃以下時(shí),取出硅片。
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